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                                    生產型GaNMOCVD設備控制系統軟件設計

                                    PDF文檔
                                    • 文件類型:PDF文檔
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                                    • 更新日期:2014-07-15 11:34
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                                    詳細介紹
                                    對“用于GaN的生產型MOCVD”設備控制系統的軟/硬件結構、關鍵技術進行了描述,介紹了國外幾種生產型GaNMOCVD設備控制系統的特點;分析了MOCVD設備控制技術的發展趨勢。
                                     
                                     
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